ระบบ CVD ของ Lab 1200C Single Zone Tube Furnace CVD

ระบบ CVD ประกอบด้วย ระบบจ่ายก๊าซ + เตาหลอมท่อ + ระบบสูญญากาศ และอุณหภูมิสูงสุดถึง 1200 องศา , 1400 องศา, 1600 องศา และ 1700 องศา โซนทำความร้อนสามารถเป็นโซนอุณหภูมิเดียว โซนอุณหภูมิคู่ โซนอุณหภูมิสามโซน ฯลฯ สูญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึง 10-3Pa ระบบจ่ายก๊าซอาจเป็นเครื่องวัดการไหลแบบมวลหรือเครื่องวัดการไหลแบบลอยเพื่อควบคุมการไหล จำนวนช่องผสมได้ 2 ช่อง 3 ช่อง 4 ช่อง และ 5 ช่อง

พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียดของเตาหลอมท่อ

ประเภท	1200-I	1200-II	1200-III	1200-V	1200-VI	1200-VII
กำลัง	3.5KW	3.5KW	3.5KW	5KW	6KW	7KW
ขนาดท่อ ï¼OD(มม.)	เส้นผ่านศูนย์กลาง 60 X1000	Dia80X1000	เส้นผ่านศูนย์กลาง 100X1000	เส้นผ่านศูนย์กลาง150X1000	Dia200X1000	เดีย250X1000
ขนาด	1140X450X690	1140X450X690	1140X450X690	1110X530X755	1120X580X805	1314X680X905
แรงดันจ่าย	220V
เฟส	เฟสเดียว
องค์ประกอบความร้อน	ลวดต้านทาน
ควบคุมอุณหภูมิ	โปรแกรมควบคุมอุณหภูมิ UAV เครื่องดนตรี (มาตรฐาน) อุณหภูมิโปรแกรม 1, 30 สเตจ ควบคุมการปรับ PID อัจฉริยะ 2. ด้วยการป้องกันอุณหภูมิเกิน วงจรทำความร้อนเตาไฟฟ้าจะถูกตัดโดยอัตโนมัติเมื่อ อุณหภูมิเกินอุณหภูมิหรือแตกหัก (เมื่อเตาไฟฟ้า อุณหภูมิเกิน 1200 องศา หรือเทอร์โมคัปเปิลขาด รีเลย์ AC บนวงจรหลักจะถูกตัดการเชื่อมต่อโดยอัตโนมัติ วงจรหลักคือ แตกหัก. เปิด ไฟ ON บนแผงควบคุมดับ ไฟ OFF ติด และเปิด เตาไฟฟ้าป้องกันจำกัด) 3 พร้อมอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐานเมื่อซื้อซอฟต์แวร์) 4 พร้อมการป้องกันการปิดเครื่อง ฟังก์ชั่นคือเมื่อเปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่องแล้ว โปรแกรมไม่ได้เริ่มจากอุณหภูมิเริ่มต้น แต่อยู่ที่เตาเผา อุณหภูมิเพิ่มขึ้นจากเวลาที่ไฟฟ้าดับ 5, ที่ มิเตอร์มีฟังก์ชั่นการปรับอุณหภูมิด้วยตนเอง (คุณต้องจ่ายเพิ่มสำหรับ การเปลี่ยนเครื่องมือนำเข้า ไม่จำเป็น) FP93 ตัวควบคุมอุณหภูมิ (ชิมะชิมะ, ญี่ปุ่น) เครื่องดนตรียุโรป เครื่องดนตรีหน้าจอสัมผัส
วัสดุห้อง	1. เตาบ่มไฟเบอร์อลูมินาโพลีคริสตัลไลน์คุณภาพสูงที่มีความบริสุทธิ์สูงเกิดขึ้น โดยการกรองแบบดูดสูญญากาศ 2. สร้างขึ้นด้วยเทคโนโลยีของญี่ปุ่น 3. ระยะห่างและระยะห่างของแนวต้าน สายไฟในเตาจะถูกจัดเรียงตามความร้อนที่ดีที่สุด เทคโนโลยีในประเทศญี่ปุ่นและสนามอุณหภูมิจำลองด้วยความร้อน ซอฟต์แวร์
วาล์วและหน้าแปลน
60/80/100 มุมมองด้านบน
การสอบเทียบอุณหภูมิ (ไม่บังคับ)	ปกติ การสอบเทียบอุณหภูมิของเตาหลอมแบบท่อช่วยรักษาความแม่นยำและ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิเตาหลอม คุณสามารถซื้อการสอบเทียบแบบธรรมดาได้ เครื่องมือจากบริษัทที่จะช่วยเหลือคุณในงานนี้ การสอบเทียบที่สมบูรณ์ ในชุดประกอบด้วยเทอร์โมคัปเปิลชนิด S มาตรฐาน เครื่องสอบเทียบอุณหภูมิ
ควบคุมความแม่นยำ	+/- 1â
ทริกเกอร์	เฟสเปลี่ยน ทริกเกอร์
เครื่องใช้ไฟฟ้า	เจ้อเจียง chint
ควบคุมด้วยซิลิคอน	106/16ESEMIKRON
อุณหภูมิสูงสุด	1200â
อุณหภูมิพิกัด	1150â
อัตราการทำความร้อน	â¤30â/ นาที(มัน สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามต้องการ)
อัตราที่แนะนำของ อุณหภูมิที่เพิ่มขึ้น	â¤15 â/ นาที
ประเภทเทอร์โมคัปเปิ้ล	ประเภท K
ความยาวเครื่องทำความร้อน	400-440มม.
ความยาวอุณหภูมิคงที่	150 มม.
เส้นโค้งสนามอุณหภูมิ
อุณหภูมิพื้นผิวส่วนปลาย	â¤45â
การป้องกันฝาครอบแบบเปิด ระบบ	เมื่อปิดฝาเตาแล้ว เปิดแล้วรีเลย์จะตัดแหล่งจ่ายไฟหลักโดยอัตโนมัติ สร้างความมั่นใจในความปลอดภัยของผู้ใช้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

VS-0.1 ระบบสุญญากาศ (VRD16)

ระบบ (สามารถปั๊มสุญญากาศในเตาหลอดได้ถึง 0.6Pa) ประกอบด้วยหน้าแปลนดูด (ผลิตเอง) ด้วยอินเทอร์เฟซ KF25 วิธีทำให้ยุ่งเหยิงสุญญากาศสูง สุญญากาศต้านทาน เกจ,ที่สูบลม,ฉากยึด(แบบโฮมเมด),ปั๊มสุญญากาศ ต่อท่อทีที่ เต้าเสียบหน้าแปลนเชื่อมต่อซิลิคอนต้านทานเข้ากับปลายด้านหนึ่งของท่อสามทาง เชื่อมต่อวาล์วลูกนกสุญญากาศสูงเข้ากับปลายอีกด้านหนึ่ง เชื่อมต่อลูกนก วาล์วและปั๊มสุญญากาศที่มีลอน Dia25 และใช้ KF25 อย่างรวดเร็ว แคลมป์สำหรับพอร์ตการเชื่อมต่อ .

1. ระบบตรวจจับแรงดัน

ความต้านทานเดี่ยวประเภท ZDR-I/ZDR-I-LED เกจวัดสุญญากาศ

เกจวัดสูญญากาศความต้านทาน (หรือเรียกอีกอย่างว่าเกจวัดสุญญากาศ Pirani) ใช้ ZJ-52T ที่มีความเสถียรเป็นพิเศษ มาตรวัดความต้านทานและใช้โหมดการทำงานอุณหภูมิคงที่ใหม่กับ พลังงานคงที่ ในเวลาเดียวกัน ไมโครโปรเซสเซอร์จะถูกใช้ในการควบคุม ความไม่เชิงเส้นของกฎระเบียบ การประมวลผลเชิงเส้น มันมีลักษณะ ประสิทธิภาพที่มั่นคง ช่วงการวัดกว้าง การตอบสนองที่รวดเร็ว และการเบี่ยงเบนเล็กน้อย และ การควบคุมรีเลย์ที่ใช้ไมโครโปรเซสเซอร์ที่ทรงพลังและเชื่อถือได้ การสื่อสารแบบอนุกรม เอาต์พุต, เอาต์พุตอะนาล็อกสุญญากาศและฟังก์ชั่นอื่น ๆ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับ การวัดและควบคุมสุญญากาศแบบหยาบและต่ำ

2. พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

* ระเบียบการกระจาย: เกจวัดความต้านทาน ZJ-52T

* ช่วงการวัด: 10 5ï½10 -1 Pa

* จำนวนการวัด: 1 วิธี

* จำนวนช่องควบคุม: 2 ถนนสามารถขยายได้ถึง 4 หรือ 8 ถนน

* ช่วงการควบคุม: 5 Ã 10 3 ~ 5 Ã 10 -1 Pa

- โหมดควบคุม: เอาต์พุตหน้าสัมผัสรีเลย์, ความจุโหลด AC220V/3A (หรือ DC28V/3A) ไม่เหนี่ยวนำ โหลด

* พลังงาน: 90-260V/50Hz หรือ 220V ± 10% 50Hz

* การใช้พลังงาน: 25W

* น้ำหนัก: 4Kg/3Kg/0.5Kg (ขึ้นอยู่กับแชสซี)

* ขนาดแชสซี: 240 Ã 88 Ã 280 หรือ 265 Ã 119 Ã 280 หรือ 96 Ã 96 Ã 120

480 Ã 88 Ã 280 หรือ 480 Ã 119 Ã 280 (ความกว้าง Ã ความสูง Ã ความลึก)

3. ลักษณะการทำงาน:

*แอลอีดี จอแสดงผลดิจิตอลหน้าจอสีเขียว

* การสำรวจดาวที่หลากหลาย

* ความเร็วในการตอบสนองที่รวดเร็ว

* การแก้ไขด้วยไมโครคอมพิวเตอร์จะควบคุมความไม่เป็นเชิงเส้นและลดข้อผิดพลาดในการวัด

* การแยกแสง, การกรองแบบดิจิตอล, ความสามารถในการป้องกันการรบกวนที่เพิ่มขึ้น

* แผงสี PVC รูปลักษณ์สวยงาม

- เอาต์พุตควบคุมจุดหรือรีเลย์ควบคุมพื้นที่ ขณะที่จุดที่ตั้งไว้ปิดเครื่อง ฟังก์ชั่นหน่วยความจำป้องกัน

4. ใช้ปั๊มสุญญากาศ VRD16

การไหลของมวล 2 ช่องทาง ระบบจ่ายแก๊สมิเตอร์

1. ภาพรวม

1) ก๊าซออกมาจากกระบอกสูบ ทำให้แรงดันลดลง ผ่านวาล์วลดความดันผ่านท่อ PTFE ไปที่ทางเข้า ของระบบจ่ายก๊าซแล้วควบคุมการไหลของก๊าซผ่านการไหลของมวล เมตรแล้วผ่านถังผสมแก๊สแล้วเข้าเตา ทางเข้าและก๊าซจะถูกระบายออก หลอดลมออกมาผ่าน วาล์วสามทาง ปลายด้านหนึ่งเชื่อมต่อกับปั๊มสุญญากาศ และปลายด้านหนึ่งคือ เชื่อมต่อกับช่องระบายอากาศ

2) เกจวัดความดันเชื่อมต่อกับส่วนผสมของแก๊ส มีการติดตั้งถังและดิสก์แสดงเกจวัดความดันและเครื่องวัดอัตราการไหลมวล บนแผงเดียวกัน

3) ท่อแก๊สแต่ละท่อมีวาล์วปิดแรงดันสูง เพื่อความปลอดภัย

4) เส้นทางก๊าซใช้ก๊าซลอยที่มีความแม่นยำสูง มิเตอร์วัดการไหลและส่วนด้านในของเส้นทางก๊าซใช้ท่อ PTFE ซึ่งมีข้อดี ความต้านทานการกัดกร่อน

5) ทั้งหมด ข้อต่อเชื่อมต่อกันด้วยปลอกโลหะซึ่งมีความหนาแน่นของอากาศที่ดีและสูง ทนแรงดัน

2. พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

ช่องอากาศ: 2

การควบคุมการไหลของลม: ตัวควบคุมการไหลของมวล

อินเทอร์เฟซ: Φ6

จอแสดงผล: LED

อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน: 5~45°C

ตัวควบคุมการไหล: ตัวควบคุมการไหลของมวล (ดูด้านล่างสำหรับ พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียด)

ท่อ PTFE: Φ6 ด้านนอก XΦ4

เกจวัดแรงดันสุญญากาศ: -0.1ï½0.15 MPa, 0.01 MPa/ส่วน

ลูกโลก วาล์ว: Φ6

3. แรงดันภายในของระบบจ่ายก๊าซ ไม่ควรใหญ่เกินไปมิฉะนั้นจะทำให้เกิดการรั่วไหลของอากาศได้ง่ายตราบเท่าที่ แก๊สไหลออกได้ปกติ

4. การกำหนดค่าของแก๊ส ระบบจ่าย:

1) มิเตอร์มิเตอร์มวล: 2

2) เกจวัดความดัน: 1

<1,000 3) วาล์วตัด: 3

4) ผ่านขั้วต่อบอร์ด: 3

5) ขั้วต่อวาล์ว: 2

6) ข้อต่อกระบอกสูบ: 2

7) ท่อเทฟลอน: 10M

8) ถังเติมอากาศ: 1

<1,0259) ชั้นวางเตา: 1 ชุด

พารามิเตอร์ทางเทคนิคของเครื่องวัดการไหลของมวล: ตัวควบคุมการไหลของมวล ชนิดทั่วไป, วงจรแอนะล็อก, ซีลยาง, แบ่งท่อ, ไม่ง่ายที่จะปิดกั้น

ตัวชี้วัดหลัก:

ช่วง: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (คุณสามารถเลือกช่วงโดยพลการ)

⢠ความแม่นยำ: ±1.5% F.S

⢠เชิงเส้น: ±0.5 ถึง 1.5% FS

⢠การทำซ้ำ: ±0.2% F.S

<1,052 ⢠เวลาตอบสนอง: 10S

<1,055 <1,056 ⢠ความดันอากาศลดลง: <0.01MPa

<1,059 <1,060 ⢠ความดันสูงสุด: 3MP

⢠สัญญาณอินพุตและเอาต์พุต: 0~+5.00V<1,070

⢠กำลังไฟ: +15V 50mA -15V 50mA

⢠ขนาด: 158*30*110

<1,090

<1,095 <1,096

<1,099

1 แพคเกจส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนกันภายใน, บรรจุภัณฑ์กล่องไม้ส่งออกภายนอก

2 จัดส่งโดยด่วนทางอากาศทางทะเลตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด

3 รับผิดชอบต่อความเสียหายในระหว่างขั้นตอนการจัดส่งจะเปลี่ยนส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี