เตา CVD 1600C พร้อมระบบจ่ายแก๊สและระบบสุญญากาศ

ผู้จัดการฝ่ายขาย: Gia

วีแชท: ติงชิวนา

หมายเลขสินค้า:
TMAX-1600PECVD
การชำระเงิน:
L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
ท่าเรือขนส่งสินค้า:
Xiamen Port
เวลานำ:
5 Days
:
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate

รายละเอียดสินค้า

เตา PECVD 1600C พร้อมระบบจ่ายแก๊สและระบบสุญญากาศ

ที่ ระบบ PECVD ประกอบด้วยเตาหลอมแบบท่อ ห้องสุญญากาศแบบควอตซ์ และแบบสุญญากาศ ระบบจ่ายก๊าซ และระบบจ่ายพลังงานความถี่วิทยุ เป็นหลัก ใช้สำหรับ: การเจริญเติบโตของฟิล์มบางโลหะ, ฟิล์มบางเซรามิก, ฟิล์มบางคอมโพสิต, กราฟีน ฯลฯ ง่ายต่อการเพิ่มฟังก์ชันและสามารถขยายฟังก์ชันต่างๆ เช่น การทำความสะอาดและการแกะสลักพลาสม่า ระบบ PECVD มีข้อดีของฟิล์มสูง อัตราการสะสม ความสม่ำเสมอที่ดี ความสม่ำเสมอและความเสถียรสูง

รายละเอียดทางเทคนิค พารามิเตอร์

รุ่น

TL1600-I

กำลัง

5KW

ขนาดท่อï¼ODï¼(มม.)

ท่อคอรันดัมที่มีความบริสุทธิ์สูง: 60 มม. (เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ)

แต่ละด้านมีปลั๊กเตาสองตัว ที่ ปลั๊กเตาสามารถปิดกั้นการแผ่รังสีความร้อนที่อยู่ตรงกลางท่อเตาได้ และต้องวางในตำแหน่งที่ถูกต้องในเตาเผาก่อนจึงจะทำความร้อน

ขนาด

1120X490X855

แรงดันจ่าย

220V

เฟส

เฟสเดียว

องค์ประกอบความร้อน

แท่งโมลิบดีนัมซิลิกอนรุ่น 1800

ประเภทการควบคุมอุณหภูมิ

ใช้ เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม Yudian (มาตรฐาน)

1. ควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม 30 ส่วนการปรับ PID อัจฉริยะ

2. ด้วยการป้องกันอุณหภูมิเกิน วงจรทำความร้อนเตาไฟฟ้าจะ ตัดไฟอัตโนมัติเมื่ออุณหภูมิสูงเกินหรือเมื่อ คู่รักแตกสลาย เปิด, ไฟ ON บนแผงดับ, ไฟ OFF เปิดอยู่, และเตาไฟฟ้าได้รับการปกป้องอย่างจำกัด)

3. ด้วยอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐานพร้อมซอฟต์แวร์เสริม)

4. มีฟังก์ชั่นป้องกันไฟฟ้าขัดข้องนั่นคือเมื่อเตาเผาอยู่ เปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่องแล้ว โปรแกรมไม่ได้เริ่มทำงานจาก อุณหภูมิเริ่มต้นแต่เริ่มจากอุณหภูมิเตาเมื่อไฟฟ้า ปิดอยู่

5.ที มิเตอร์มีฟังก์ชั่นการปรับอุณหภูมิด้วยตนเอง

(คุณจะต้องจ่ายเพิ่มสำหรับการเปลี่ยนสินค้านำเข้า เครื่องมือเสริม)

เครื่องมือ FP93 เครื่องมือ EUROTHERM หน้าจอสัมผัส เครื่องดนตรี

(ชิมะเด็น ประเทศญี่ปุ่น)

วัสดุห้อง

1. วัสดุเตาทำจากคุณภาพสูง เส้นใยโพลีคริสตัลไลน์อลูมินา

2. พื้นผิวเตาด้านในเคลือบด้วย นำเข้าเคลือบอลูมินาอุณหภูมิสูง 1800 องศาซึ่งสามารถเพิ่มได้ การแผ่รังสีและทำให้สนามอุณหภูมิมีความสมดุลมากขึ้น

วาล์วและหน้าแปลน

ควบคุมความแม่นยำ

+/- 1â

ทริกเกอร์

ทริกเกอร์เปลี่ยนเฟส

เครื่องใช้ไฟฟ้า

เจ้อเจียงชินท์

ควบคุมด้วยซิลิคอน

106/16E เซมิคอน

สูงสุด อุณหภูมิ

1600â

อุณหภูมิพิกัด

1550â

อัตราการทำความร้อน

â¤20â/ Min(สามารถแก้ไขได้ตามต้องการ)

อัตราการทำความร้อนที่แนะนำ

â¤10 â/ นาที

รุ่นเทอร์โมคัปเปิ้ล

ประเภท B

ความยาวของส่วนทำความร้อน

300มม.

อุณหภูมิพื้นผิวโดยรอบ

â¤45â

ระบบสุญญากาศ

VS-0.1 ระบบสุญญากาศ

VS-0.1 ระบบสูญญากาศสามารถวาดระดับสูญญากาศในท่อเตาหลอดถึง 0.1Pa (และติดตั้งเครื่องวัดสูญญากาศความต้านทาน จอแสดงผล).

มีไฟ LED สีเขียว หน้าจอดิจิตอล

รับเลี้ยง ปั๊มสุญญากาศ VRD16

VRD16	ศัพท์เทคนิค		ข้อมูลจำเพาะ
VRD-16	ความเร็วในการปั๊มmÂ³/hï¼L/sï¼	50เฮิร์ต	16 ลบ.ม./ชม.
			4.4 ลิตร/วินาที
		60เฮิร์ต	19.2 ม./ชม.
			5.2 ลิตร/วินาที
	จำกัดความดันบางส่วน - ไม่มีบัลลาสต์แก๊สï¼Paï¼		4x10-2
	จำกัดแรงดันรวม - ไม่มีบัลลาสต์แก๊สï¼Paï¼		4x10-1
	ขีดจำกัดความดันรวม - บัลลาสต์แก๊สï¼Paï¼		8x10-1
	แหล่งจ่ายไฟ		เฟสเดียว/สามเฟส
	กำลังมอเตอร์ï¼KWï¼		0.75 กิโลวัตต์/0.55 กิโลวัตต์
	การเชื่อมต่อทางเข้า/ทางออกDN		KF25
	ความจุน้ำมัน		0.9-1.5 ลิตร
	ความเร็วมอเตอร์ï¼rpmï¼	50เฮิร์ต	1440 รอบต่อนาที

ระบบจ่ายแก๊ส

แก๊ส ระบบจ่ายก๊าซของเครื่องวัดการไหล

พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

l ช่องลม: 6

l การควบคุมการไหลของลม: ใช้มิเตอร์วัดการไหลของมวล

ล ขนาดตู้: 600X600X600มม.

ล พร้อมจอแสดงผล LED

l พารามิเตอร์ทางเทคนิคของเครื่องวัดการไหลมวล:

อินเทอร์เฟซ	Î¦6
จอแสดงผล	แอลอีดี
ทำงานอยู่ อุณหภูมิสภาพแวดล้อม	5~45â
ไหล คอนโทรลเลอร์	โปรตอน มีการใช้ตัวควบคุมการไหล โปรดดูด้านหลัง
สแตนเลส ท่อเหล็ก	Î¦6 ภายนอก X Î¦4 ภายใน
ความดัน โต๊ะสูญญากาศ	-0.1ï½0.15 MPa, 0.01 MPa/div
หยุด วาล์ว	Î¦6
ไหล ควบคุม	บมจ การควบคุมอัจฉริยะ

ทางเทคนิค พารามิเตอร์ของตัวควบคุมการไหลของมวล:

สินค้า คำอธิบาย: ชนิดทั่วไป, วงจรแอนะล็อก

สินค้า รายละเอียดสินค้า : ชนิดธรรมดา, วงจรอนาล็อค, ซีลยาง, แบบท่อ แบ่งไม่บล็อกง่าย

หลัก ตัวชี้วัด:

พิสัย	5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM(คุณสามารถเลือกช่วงใดก็ได้) โปรดยืนยันเมื่อ คุณวางคำสั่งซื้อ
ความแม่นยำ	Â±1% F.S
เชิงเส้น	0.5% F.S
ความสามารถในการทำซ้ำได้	Â±0.2% FS
การตอบสนอง เวลา	1S
อากาศ แรงดันตก	<0.01MPa
สูงสุด ความดัน	3MP
ทำงานอยู่ อุณหภูมิสภาพแวดล้อม	5ï½45â
ป้อนข้อมูล และสัญญาณเอาท์พุต	0ï½+5.00V
กำลัง อุปทาน	+15V 50mA -15V 50mA
ขนาด	15830110
น้ำหนัก	0.9 กก.

การกำหนดค่าระบบจ่ายก๊าซ:

<1,079

โปรตอน เครื่องวัดอัตราการไหล	6
เครื่องกล เกจวัดความดัน (ช่วง -0.1~0.15MPa)	1 <1,000
สแตนเลส ลูกโลกวาล์วเหล็ก	6
สแตนเลส ขั้วต่อแผ่นเหล็กทะลุ	6
สแตนเลส ข้อต่อวาล์วเหล็ก	2
สแตนเลส ขั้วต่อกระบอกเหล็ก <1,050	<1,052 <1,053 6
<1,056 <1,057 <1,058 <1,059 <1,060 ไฟเบอร์ ท่อ	<1,065 <1,066 <1,067 <1,068 30M<1,069
<1,075 เส้นผ่านศูนย์กลาง80X140MM ถังผสมแก๊ส	1
<1,090 โครงเตา	<1,095 <1,096 1 ชุด

เครื่องกำเนิด RF / RF พาวเวอร์ซัพพลาย

พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลักของแหล่งจ่ายไฟ RF:

ช่วงเอาท์พุตพลังงาน	0-500W
สะท้อนสูงสุด พลังงาน	200W
ความถี่ในการทำงาน	RF: 13.56MHZ±0.005%
ความเสถียรของกำลัง	+/-0.1%
ส่วนประกอบฮาร์มอนิก	â¤-50dbc
ความกว้างของขอบเขต Rf	0-600มม. ปรับได้
วิธีการจับคู่	อัตโนมัติ
โหมดทำความเย็น	จุดเย็น
เสียงรบกวน	<50dB
วิทยุ อินเทอร์เฟซความถี่	50Î© ประเภท N
กำลังไฟฟ้าเข้า	208-240V 50/60HZ

การรับประกัน

รับประกันหนึ่งปีและอายุการใช้งาน การสนับสนุนด้านเทคนิค

หมายเหตุพิเศษ:

1.ชิ้นส่วนสิ้นเปลือง เช่น องค์ประกอบความร้อน, ท่อเตาหลอม, ถ้วยใส่ตัวอย่างตัวอย่าง ฯลฯ ไม่ได้อยู่ใน ระยะเวลาการรับประกัน

2. ความเสียหายที่เกิดจากการใช้ การรับประกันไม่ครอบคลุมก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและก๊าซกรด

ข้อควรระวัง

1. ความกดอากาศใน ท่อเตาไม่ควรสูงกว่า 0.02MPa

2. เนื่องจากมีอากาศสูง แรงดันภายในถังแก๊สต้องติดตั้งวาล์วระบายแรงดัน ถังแก๊สเมื่อมีการนำก๊าซเข้าไปในท่อเตาหลอม เพื่อให้มั่นใจ ความปลอดภัย ขอแนะนำให้ใช้แรงดันต่ำกว่า 0.02MPa

3. เมื่อนำท่อเตาไปใช้ เป็นหลอดคอรันดัม เมื่ออุณหภูมิตัวเตาสูงกว่า 1,500 â ท่อเตาไม่ควรอยู่ในสถานะสุญญากาศ และความดันอากาศในท่อเตาหลอมควรเท่ากับบรรยากาศ ความดัน

4. ก๊าซไหลเข้าสู่ ท่อเตาควรมีขนาดน้อยกว่า 200SCCM เพื่อหลีกเลี่ยงผลกระทบของความเย็น การไหลของอากาศบนท่อเตาร้อน

5. สำหรับการทำความร้อนตัวอย่าง การทดลองไม่แนะนำให้ปิดวาล์วไอเสียและวาล์วทางเข้าของ ปลายหน้าแปลนท่อเตาหลอม หากจำเป็นต้องปิดวาล์วแก๊สเพื่อให้ความร้อน ตัวอย่างคุณจะต้องใส่ใจกับตัวบ่งชี้ของเกจวัดความดันเสมอ หากความดันมากกว่า 0.02MPa คุณต้องเปิดไอเสียทันที วาล์วเพื่อป้องกันอุบัติเหตุ (เช่น ท่อเตาหลอมแตก, หน้าแปลนหลุด, ฯลฯ) .

6. อย่าใช้กราไฟท์ ถ้วยใส่ตัวอย่างในหลอดอลูมินา

7. องค์ประกอบความร้อน MoSi2 ไม่ควรใช้ที่อุณหภูมิต่ำ (400â-700â) เป็นเวลานาน ไม่เช่นนั้น มันอาจทำให้องค์ประกอบความร้อนเสียหายได้

CVD furnace