ระบบ CVD สำหรับห้องปฏิบัติการพร้อมเตาหลอดโรตารีโซนคู่ 1500-1500C

ผู้จัดการฝ่ายขาย: Gia

วีแชท: ติงชิวนา

หมายเลขสินค้า:
TMAX-1500-1500CVD
การชำระเงิน:
L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
ท่าเรือขนส่งสินค้า:
Xiamen Port
เวลานำ:
5 Days
:
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate

รายละเอียดสินค้า

ระบบ Lab CVD พร้อมเตาหลอดโรตารีโซนคู่ 1500-1500C

ระบบ CVD ประกอบด้วยระบบจ่ายก๊าซ + เตาท่อ + ระบบสุญญากาศ และอุณหภูมิสูงสุดสามารถเข้าถึง 1200 องศา 1400 องศา 1600 องศา และ 1700 องศา โซนความร้อนสามารถเป็นโซนอุณหภูมิเดียว โซนอุณหภูมิคู่ โซนอุณหภูมิสามโซน ฯลฯ สูญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึง 10-3Pa ระบบจ่ายก๊าซอาจเป็นเครื่องวัดการไหลแบบมวลหรือเครื่องวัดการไหลแบบลอยเพื่อควบคุมการไหล จำนวนช่องผสมได้ 2 ช่อง 3 ช่อง 4 ช่อง และ 5 ช่อง

พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียด

รุ่น	1500-1500-I 1500-1500-II
กำลัง	9KW 9KW
ท่อ ขนาด	เส้นผ่านศูนย์กลาง 60(OD) X1400 มม. เส้นผ่านศูนย์กลาง 80(OD) X1400 มม.
อุปทาน แรงดันไฟฟ้า	380V 380V
เฟส	เฟสคู่ เฟสคู่
ท่อ	หลอดคอรันดัม: AIO ที่มีความบริสุทธิ์สูง เซรามิกส์ (รวม) 99.5%
เครื่องทำความร้อน องค์ประกอบ	ก่อนอื่น โซนอุณหภูมิ:แท่งคาร์บอนซิลิคอน โซนอุณหภูมิที่สอง: แท่งคาร์บอนซิลิคอน
ความเร็วการหมุนของท่อเตา	ด้วยมอเตอร์ปรับความเร็วรอบแบบไม่มีขั้นบันได สามารถปรับความเร็วได้ระหว่าง (1-25 RPM)
กำลังมอเตอร์	40W
เตาหลอมสามารถเอียงได้ที่มุม	0-30 องศา
ประเภทของการขับเคลื่อน	สายพานฟันเฟืองและเกียร์
การควบคุม โหมด	เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม UAV (มาตรฐาน) 1, โปรแกรมควบคุมอุณหภูมิ 30 ขั้นตอน การปรับ PID อัจฉริยะ 2. พร้อมระบบป้องกันอุณหภูมิเกินระบบไฟฟ้า วงจรทำความร้อนของเตาจะถูกตัดโดยอัตโนมัติเมื่ออุณหภูมิถึง อุณหภูมิเกินหรือแตกหัก (เมื่ออุณหภูมิเตาไฟฟ้าเกิน 1520 องศา หรือเทอร์โมคัปเปิ้ลขาด รีเลย์ AC บนวงจรหลัก จะถูกตัดการเชื่อมต่อโดยอัตโนมัติ วงจรหลักจะขาด เปิด เปิด ไฟบนแผงดับ ไฟ OFF ติด และการป้องกันแบบจำกัด เตาไฟฟ้า). 3 พร้อมอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐาน เมื่อซื้อซอฟต์แวร์) 4 พร้อมฟังก์ชั่นป้องกันการปิดเครื่อง คือเมื่อเปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่องแล้วโปรแกรม ไม่ได้เริ่มจากอุณหภูมิเริ่มต้น แต่เป็นอุณหภูมิเตาหลอม เพิ่มขึ้นจากเวลาที่ไฟฟ้าดับ 5 มิเตอร์มีฟังก์ชั่นการปรับอุณหภูมิด้วยตนเอง (คุณต้องจ่ายเงินเพิ่มสำหรับการเปลี่ยน ของเครื่องมือนำเข้า ไม่จำเป็น) เครื่องมือ FP93 เครื่องมือ EUROTHERM หน้าจอสัมผัส เครื่องดนตรี (ชิมะเด็น ประเทศญี่ปุ่น)
วัสดุเตา	1. โพลีคริสตัลไลน์อลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงคุณภาพสูง เตาบ่มไฟเบอร์ที่เกิดจากการกรองสูญญากาศ 2. นำเทคโนโลยีการขึ้นรูปของญี่ปุ่นมาใช้
การควบคุม ความแม่นยำ	+/- 1â
ทริกเกอร์	เปลี่ยนเฟส ทริกเกอร์
ไฟฟ้า เครื่องใช้ไฟฟ้า	เจ้อเจียง ชินท์
ซิลิคอน ควบคุม	106/16ESEMIKRON
ที่ อุณหภูมิสูงสุดในโซนอุณหภูมิที่หนึ่งและที่สอง	1500â
เรตติ้ง อุณหภูมิในโซนอุณหภูมิที่หนึ่งและที่สอง	1400â
เครื่องทำความร้อน อัตรา	â¤20â/ นาที(สามารถแก้ไขได้ตามต้องการ)
แนะนำ อัตราการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิ	â¤10â/ นาที
เทอร์โมคัปเปิ้ล	S พิมพ์อันแรก โซนอุณหภูมิ ส พิมพ์ในภูมิภาคอุณหภูมิที่สอง
ความยาว ของส่วนทำความร้อนในโซนอุณหภูมิที่หนึ่งและที่สอง	300+300มม. 300+300มม.
ความยาวอุณหภูมิคงที่	450มม. 450มม.

การจ่ายอากาศสามช่อง Gx-3 (ผสม อากาศ) ระบบ

1.1. ก๊าซจะออกจากกระบอกสูบคือ ลดแรงดันผ่านวาล์วลดความดันผ่านท่อ PTFE ไปที่ทางเข้าของระบบจ่ายก๊าซแล้วไหลผ่านการไหลของมวล เมตรเพื่อควบคุมการไหลของก๊าซแล้วผ่านถังผสมก๊าซและ จากนั้นเข้าสู่ทางเข้าเตาหลอม

1.2. มีเกจวัดแรงดันติดอยู่กับถังผสมแก๊สและเกจวัดแรงดัน ดิสก์แสดงผลและตัวควบคุมโฟลว์มิเตอร์โปรตอนได้รับการติดตั้งไว้เหมือนกัน แผง

1.3. ท่อแก๊สแต่ละท่อมีวาล์วปิดแรงดันสูงเพื่อความปลอดภัย

1.4. เส้นทางก๊าซใช้เครื่องวัดอัตราการไหลของก๊าซที่มีความแม่นยำสูงและด้านในของ ทางเดินก๊าซทำจากท่อสแตนเลสทั้งหมดซึ่งมีการกัดกร่อนได้ดี ความต้านทาน

1.5. ข้อต่อทั้งหมดในกล่องเชื่อมต่อกันด้วยปลอกสแตนเลสซึ่งมี ความหนาแน่นของอากาศที่ดีและทนต่อแรงดันสูง

2. พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

ช่องลม: 3

การควบคุมการไหลของก๊าซ: เครื่องวัดอัตราการไหลมวล

ขนาดตู้: 600X600X600มม.

เครื่องวัดอัตราการไหลมวล พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

อินเทอร์เฟซ: Î¦6

จอแสดงผล: LED

อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน: 5~45°C

ตัวควบคุมการไหล: พารามิเตอร์ตัวควบคุมการไหลของโปรตอน โปรดตรวจสอบย้อนกลับ

ท่อสแตนเลส: Î¦6 นอก X Î¦4

แรงดันสุญญากาศ ตาราง: -0.1ï½0.15 MPa, 0.01 MPa/ส่วน

หยุดวาล์ว: Î¦6

การควบคุมการไหล: บมจ การควบคุมอัจฉริยะ

3. เครื่องวัดอัตราการไหลมวล พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

สินค้า ชื่อ: ตัวควบคุมการไหลของมวล

สินค้า คำอธิบาย : ชนิดปกติ วงจรแอนะล็อก

สินค้า รายละเอียด: ธรรมดา, วงจรแอนะล็อก, ซีลยาง, แบ่งท่อ, ไม่ง่ายที่จะ บล็อก

หลัก ตัวบ่งชี้: ช่วง: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (คุณสามารถเลือกช่วงได้ตามต้องการ)

â¢ ความแม่นยำ: ±1% FS

â¢ เชิงเส้น: 0.5% FS

â¢ การทำซ้ำ: ±0.2% F.S

â¢ เวลาตอบสนอง: 1S

â¢ ความดันอากาศลดลง: <0.01MPa

â¢ ความดันสูงสุด: 3MP

â¢ อุณหภูมิสภาพแวดล้อมในการทำงาน: 5ï½45Â°C

â¢ สัญญาณอินพุตและเอาต์พุต: 0 ~ + 5.00V

â¢ พลังงาน: +15V 50mA -15V 50mA

â¢ ขนาด: 158*30*110

â¢ น้ำหนัก: 0.9 กก.

4. การกำหนดค่าของแก๊ส ระบบจ่าย:

1. เครื่องวัดอัตราการไหลของโปรตอน: 3

2. เกจวัดความดันเชิงกล (ช่วง -0.1~0.15MPa): 1

3. วาล์วตัดเหล็กสแตนเลส: 4

4. ข้อต่อแผ่นสแตนเลส: 4

5. ขั้วต่อวาล์วสแตนเลส: 2

6. ขั้วต่อกระบอกสูบสแตนเลส: 3

7. ท่อ PTFE: 15M

8. ถังผสม Dia80X140MM: 1

9. ชั้นวางเตา: 1 ชุด

VS ระบบสุญญากาศสูง

<1,049 <1,050อัตราการสูบน้ำï¼N2ï¼<1,051 <1,052 <1,053 33 ลิตร/วินาที<1,057 <1,058 <1,059 <1,060 <1,099

หน่วยปั๊มโมเลกุล (ตัวเลือก 1 หรือตัวเลือก 2)	หน่วยแรงดันไฟฟ้าขาเข้า	380V /220V
	เครื่องเป่าลม	KF40X1000
	วาล์วกั้นสุญญากาศ	KF40
	ขนาด	600X600X600
	ปั๊มโมเลกุล (ตัวเลือก 1)	รุ่น	FJ620
		แรงดันไฟฟ้าขาเข้า	380V
		หน้าแปลนทางเข้า	DN160
		อัตราการสูบน้ำ L/S (สู่อากาศ)	600
		ความดันสูงสุดï¼Pa)	6Ã10-7
		ประเภทการทำความเย็น	ระบายความร้อนด้วยน้ำ
		แรงดันน้ำหล่อเย็นï¼MPaï¼	0.1-0.2
		อุณหภูมิน้ำหล่อเย็น	<25â
		อุณหภูมิสภาพแวดล้อม	0~40â
		แรงดันเริ่มต้นที่แนะนำ	<100pa
	ปั๊มสุญญากาศส่วนหน้า TRP-24 ของปั๊มโมเลกุล (ต้องปั๊มโมเลกุล FJ620 ติดตั้งปั๊มก่อนหน้า) (ตัวเลือก 2	åç	0.75KW
		çµå	380V
		è½ñé	1450 รอบต่อนาที
		Â· เส้นผ่านศูนย์กลางทางเข้า	KF25/KF40
		อัตราการสูบน้ำของเครื่องยนต์หน้าï¼L/Sï¼	6
		แรงดันสูงสุด	4X10 -2Pa
	ปั๊มสุญญากาศ Pfeiffer จากเยอรมนี (ตัวเลือก 2)	แรงดันไฟฟ้า	220V
		กำลัง	<1,000110W
		อินเทอร์เฟซการดึงข้อมูล	KF40
		น้ำหนัก	150กก.
		ความเร็วการสูบน้ำของเครื่องยนต์หน้า	0.9m3/ชม.
			<1,055
	<1,062 <1,063 เกจสูญญากาศแบบผสม <1,066 <1,067	รุ่น	<1,079 แซดดีเอฟ
		แหล่งจ่ายไฟ <1,090	220V 55W <1,096
		ควบคุมความแม่นยำ	± 1%
		ช่วงการวัดเกจสุญญากาศ	10-5 -10 5 ปาสกาล