เข้าร่วม TMAX, เป็นตัวแทน!
ผู้จัดการฝ่ายขาย: Gia
อีเมล: Gia@tmaxlaboratory.com
วีแชท: ติงชิวนา
หมายเลขสินค้า:
TMAX-RFPowerการชำระเงิน:
L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypalท่าเรือขนส่งสินค้า:
Xiamen Portเวลานำ:
5 Days:
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificateแหล่งจ่ายไฟ RF สำหรับ PECVD
ที่ ระบบ PECVD ประกอบด้วยเตาหลอมแบบท่อ ห้องสุญญากาศแบบควอตซ์ และแบบสุญญากาศ ระบบจ่ายก๊าซ และระบบจ่ายพลังงานความถี่วิทยุ เป็นหลัก ใช้สำหรับ: การเจริญเติบโตของฟิล์มบางโลหะ, ฟิล์มบางเซรามิก, ฟิล์มบางคอมโพสิต, กราฟีน ฯลฯ ง่ายต่อการเพิ่มฟังก์ชันและสามารถขยายฟังก์ชันต่างๆ เช่น การทำความสะอาดและการแกะสลักพลาสม่า ระบบ PECVD มีข้อดีของฟิล์มสูง อัตราการสะสม ความสม่ำเสมอที่ดี ความสม่ำเสมอสูงและความมั่นคง
พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลักของแหล่งจ่ายไฟ RF:
ช่วงเอาท์พุตพลังงาน |
0-500W |
สะท้อนสูงสุด พลังงาน |
200W |
ความถี่ในการทำงาน |
RF:13.56MHZ ±0.005% |
ความเสถียรของกำลัง |
+/-0.1% |
ส่วนประกอบฮาร์มอนิก |
â¤-50dbc |
ความกว้างของขอบเขต Rf |
ปรับได้ 0-600 มม. |
วิธีการจับคู่ |
อัตโนมัติ |
โหมดทำความเย็น |
จุดเย็น |
เสียงรบกวน |
<50dB |
วิทยุ อินเทอร์เฟซความถี่ |
50Ω ประเภท N |
กำลังไฟฟ้าเข้า |
208-240V 50/60HZ |
1 แพคเกจส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนกันภายใน, บรรจุภัณฑ์กล่องไม้ส่งออกภายนอก
2 จัดส่งโดยด่วนทางอากาศทางทะเลตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3 รับผิดชอบต่อความเสียหายในระหว่างขั้นตอนการจัดส่งจะเปลี่ยนส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี
ก่อนหน้า :
เตา CVD 1600C พร้อมระบบจ่ายแก๊สและระบบสุญญากาศต่อไป :
ระบบสุญญากาศ VS-0.1 พร้อมปั๊มสุญญากาศ VRD16 สำหรับระบบ CVDหมวดหมู่
สินค้าใหม่
© ลิขสิทธิ์: 2025 Xiamen Tmax Battery Equipments Limited สงวนลิขสิทธิ์.
IPv6 รองรับเครือข่าย