เครื่องมือเคลือบสูญญากาศแบบตั้งโต๊ะในห้องปฏิบัติการสำหรับฟิล์มออปติก ฟิล์มอินทรีย์ และฟิล์มโลหะ

เครื่องมือเคลือบสูญญากาศแบบตั้งโต๊ะในห้องปฏิบัติการสำหรับฟิล์มออปติก ฟิล์มอินทรีย์ และฟิล์มโลหะ

ใช้:

เครื่องมือเคลือบ KT-DM250 ได้รับการพัฒนาโดยบริษัทของเราสำหรับฟิล์มกรองแสง ฟิล์มอินทรีย์ และฟิล์มโลหะ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับมหาวิทยาลัย องค์กรที่มีเทคโนโลยีสูง สถาบันวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และการเคลือบอิเล็กโทรดโลหะอื่นๆ สำหรับการวิจัยชั้นฟิล์มและอุปกรณ์ ปัจจุบันอยู่ในห้องปฏิบัติการทดสอบในประเทศ สนามเซลล์แสงอาทิตย์ perovskite และการใช้งานอื่นๆ

พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลัก:

1. ห้องสุญญากาศ: â250มม.*สูง400มม. (สูงมาตรฐาน 400 มม. หากจำเป็นต้องใช้ห้องกระบวนการ LIFT-OFF ให้เพิ่มเป็น 500);

2. เส้นผ่านศูนย์กลางชิ้นงานการชุบสูงสุด: 3-4 นิ้ว พร้อมโต๊ะตัวอย่างแบบดึงออก สามารถหมุนตัวอย่างได้ นอกจากนี้ยังมีตารางตัวอย่างพื้นผิวทองแดง

3. จำกัดสูญญากาศ: 5*10-1Pa (ระบบปั๊มกล), 8*10-5Pa (ระบบปั๊มโมเลกุล);

4. เวลาในการสูบน้ำ: Aความดันบรรยากาศ ~6*10-4Pa น้อยกว่า 30 นาที (ระบบปั๊มโมเลกุล);

5. การระเหย: Rอิเล็กโทรดการระเหยแบบอิเล็กโทรด (1 คู่)

6. พลังงาน: 2KW; พร้อมกับแหล่งจ่ายไฟการระเหยจอแสดงผลดิจิตอล

7. โหมดการเปิด: Fโครงสร้างประตูหน้า ง่ายต่อการเปลี่ยนลวดและการโหลด;

8. ระบบสูญญากาศ: Mระบบสูญญากาศปั๊มกล (ปั๊มกล + ระบบปั๊มโมเลกุลเสริม);

9. ระบบหมุนเวียนน้ำหล่อเย็น 0.5P;

รูปภาพอ้างอิง