ชุดปั๊มสุญญากาศ

(ต้องใช้น้ำมัน) ปั๊มสุญญากาศโรตารี + (ไร้น้ำมัน) ชุดปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ

ความเร็วในการปั๊มแบบหมุน

50 เฮิร์ต : 16 ม.³/ชม. (4.4 ลิตร/วินาที) / 60 เฮิร์ต : 19.2 ม./ชม. (5.2 ลิตร/วินาที)

ความเร็วการปั๊มระดับโมเลกุล

300 ลิตร/วินาที

ขีดจำกัดสุญญากาศ

5x10^-5ปาสคาล

แรงดันใช้งาน

0.5-5 ปาสคาล

เวลาดูดฝุ่น

10 นาที(10^-3ปาสคาล)

การวัดสุญญากาศ

ช่วงการวัดจากบรรยากาศถึง 10^-6Pa

การควบคุมแก๊ส

ตัวควบคุมการไหลของแก๊ส

ขนาดห้องเพาะเลี้ยง

Ï260*200มม. (สูง) โลหะ

แหล่งเป้าหมายแมกนีตรอน

ขนาดเป้าหมายÏ50*3มม. (Cu) / แหล่งที่มาของเป้าหมาย: สารแม่เหล็กอ่อน / วัสดุ

วิธีการใช้งาน

คู่มือการใช้งาน

น้ำหนัก/ขนาด

ความยาว 100 กก. / 610 มม.*กว้าง 420 มม.*สูง 490 มม.

พาวเวอร์ซัพพลาย

ไฟ AC 110V 60Hz หรือ AC 220V 50Hz

การใช้พลังงาน

<3000W

วิธีการทำความเย็น

อากาศเย็น (ปั๊ม) + น้ำหล่อเย็น (เป้าหมายสปัตเตอร์)

การรับประกัน

การรับประกันแบบจำกัดหนึ่งปีพร้อมการสนับสนุนผลิตภัณฑ์ตลอดอายุการใช้งาน