ชื่ออุปกรณ์และรุ่น

เครื่องเคลือบแมกนีตรอนพลาสม่า VTC-2RF

พื้นฐาน pพารามิเตอร์

· แหล่งจ่ายไฟ: AC 220V 50HZ

· กำลังไฟ: < 1800W

RF pกำลังไฟฟ้า sอัปพลี

· กำลังไฟฟ้าเข้า: 220V 3A

· กำลังขับ: 0-300W

· ความถี่เอาต์พุต: 13.56MHZ

· โหมดทำความเย็น: โหมดทำความเย็นภายในอุปกรณ์เป็นการระบายความร้อนด้วยอากาศ

· ขนาด: 444 (L) *410 (W) *128 (H)

หัวสปัตเตอร์แมกนีตรอน

· หัวสปัตเตอร์แมกนีตรอนขนาด 2 นิ้ว (พร้อมชั้นระบายความร้อนด้วยน้ำ) เชื่อมต่อกับห้องสุญญากาศด้วยการต่อแบบรวดเร็ว

· ข้อกำหนดขนาดเป้าหมาย: Ï50* (0.1-5) มม. หนา

· หัวสปัตเตอร์แมกนีตรอนขนาด 2 นิ้วสามารถทนต่อพลังงาน RF สูงสุด: 300W

· หัวสปัตเตอร์แมกนีตรอนขนาด 2 นิ้วสามารถทนต่อกำลังไฟ DC สูงสุด: 500W

สปัตเตอร์ cแฮมเบอร์

· ขนาดห้อง: เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก Ï166* เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน Ï150* สูง 250 มม. ทำจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง

· หน้าแปลนซีล: เส้นผ่านศูนย์กลาง 174 มม.ï¼ทำจากโลหะอลูมิเนียม ปิดผนึกด้วยแหวนซีลยางฟลูออรีน

· มีการติดตั้งแผ่นกั้นที่ทำงานด้วยตนเองบนฝาครอบหน้าแปลนเพื่อการสปัตเตอร์ล่วงหน้าของชิ้นงาน และมีข้อต่อปลอก Ï6.35 รวมอยู่ด้วยที่ ฝาครอบหน้าแปลน e สำหรับต่อท่อไอดี

ตาข่ายสแตนเลสคลุมห้องควอทซ์ทั้งหมดเพื่อป้องกันพลาสมา

· สุญญากาศในห้อง: ï¼1.0Ã10-2 Torr (พร้อมปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนแบบไบโพลาร์), ï¼5Ã10-5 ทอร์ (vเท็กซ์โมเลกุล pump)

· หากต้องการสุญญากาศที่สูงกว่า สามารถปรับแต่งห้องสุญญากาศสแตนเลสได้ (ระดับสุญญากาศสามารถเข้าถึง 5*10-6 torr หรือน้อยกว่า)

· ช่องอากาศเข้าเป็นข้อต่อแบบปลอกคู่สแตนเลส Φ6.35 มม. ซึ่งสามารถเชื่อมต่อกับถังแก๊สผ่านท่อ PTFE และขนาดของช่องอากาศเข้าจะถูกควบคุมโดยวาล์วควบคุมระดับไมโครที่มีความแม่นยำ

ตัวอย่าง วินาทีแทนด์

· ตารางตัวอย่างสามารถหมุนได้ (เพื่อการผลิตฟิล์มที่สม่ำเสมอมากขึ้น) และให้ความร้อน

· ขนาดตัวอย่าง: เส้นผ่านศูนย์กลาง 50 มม. (สามารถวางวัสดุพิมพ์ได้สูงสุด 2 นิ้ว)

· ความเร็วในการหมุน: 1-10rpm (ปรับได้)

· อุณหภูมิความร้อนสูงสุดของตารางตัวอย่างคือ 700â(การใช้งานระยะสั้น อุณหภูมิคงที่ไม่เกิน 1 ชั่วโมง) และอุณหภูมิการใช้งานระยะยาวคือ 500â

· ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ: ±10â

หน่วยแสดงผลสุญญากาศ

· รุ่นเกจวัดสุญญากาศ: ZDZ-52T

· ช่วงการวัด: 1.0Ã105Pa~1.0Ã10-1Pa

· ช่วงที่มีประสิทธิภาพ: 3.0Ã103Pa~1.0Ã100Pa

· ท่อซิลิกอน: ZJ-52T/KF16

· ขนาดแผง: 96*96 มม.

· การควบคุมของเกจสุญญากาศสามารถวัดอากาศและไนโตรเจนเท่านั้น และในโอกาสอื่นๆ ที่มีส่วนประกอบของก๊าซจำนวนมากจำเป็นต้องได้รับการแก้ไข

ระบบสุญญากาศ (อุปกรณ์เสริม)

· ส่วนต่อประสานสุญญากาศคือส่วนต่อประสาน KF25

· ปั๊มสุญญากาศ รุ่น: VRD-16

· อัตราการสูบน้ำ: 4.4L /S

· กำลังมอเตอร์: 750 วัตต์

· ขีดจำกัดความดัน: 5Ã10-1Pa (ไม่มีโหลด)

อุปกรณ์ระบายความร้อนด้วยน้ำ (อุปกรณ์เสริม)

· รุ่น: KJ-5000

· กระแสไฟฟ้าทำงาน: 1.4-2.1A

· ความสามารถในการทำความเย็น: 2361Btu/ชม.

· ขนาด: 55Ã28Ã43cm (ความยาว Ã ความกว้าง Ã ความสูง)

· ความจุแท้งค์น้ำ: 6 ลิตร

· อัตราการไหลของน้ำ: 16 ลิตร/นาที

ฟิล์ม tความหนา gauge (อุปกรณ์เสริม)

· มีการติดตั้งเกจวัดความหนาฟิล์มสั่นแบบควอตซ์ที่แม่นยำบนเครื่องมือเพื่อตรวจสอบความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์ด้วยความละเอียด 0.10A

· จอแสดงผล LED แต่ยังป้อนข้อมูลที่เกี่ยวข้องกับฟิล์มด้วย

ขนาดโดยรวม

ขนาดอุปกรณ์: ยาว 550 มม. Ã กว้าง 550 ม. Ã สูง 1100 มม.

ขนาดเตา: L 600mmà W 600mà H 600mm

น้ำหนัก

ประมาณ 55KG

อายุการเก็บรักษา

1 ปี (ไม่รวมชิ้นส่วนสึกหรอ เช่น แหวนซีล)

ข้อควรระวัง

· ความดันอากาศในห้องจะต้องไม่สูงกว่า 0.02MPa (ความดันอากาศสัมพัทธ์);

· เนื่องจากความดันสูงภายในกระบอกสูบ จึงต้องติดตั้งวาล์วลดความดันบนกระบอกสูบเมื่อก๊าซถูกฉีดเข้าไปในท่อควอทซ์ เพื่อความปลอดภัย ขอแนะนำให้ใช้แรงดันต่ำกว่า 0.02MPa ขอแนะนำให้ซื้อวาล์วลดแรงดันจากบริษัทของเราซึ่งมีช่วงการวัด 0.01MPa-0.1MPa ซึ่งจะแม่นยำและปลอดภัยในการใช้งานมากขึ้น

· สำหรับการทดลองให้ความร้อนกับตัวอย่าง ไม่แนะนำให้ปิดวาล์วไอเสียและวาล์วไอดีที่ปลายหน้าแปลนของท่อเตาเผา หากจำเป็นต้องปิดวาล์วอากาศเพื่อให้ความร้อนแก่ตัวอย่าง จำเป็นต้องใส่ใจกับตัวบ่งชี้ของเกจวัดความดันเสมอ หากตัวบ่งชี้ความดันมากกว่า 0.02MPa ต้องเปิดวาล์วระบายลมทันทีเพื่อป้องกันอุบัติเหตุ (เช่น ท่อเตาหลอมแตก หน้าแปลนกระเด็นออกมา ฯลฯ)

· เราไม่แนะนำให้ลูกค้าใช้ก๊าซไวไฟ ระเบิดได้ และเป็นพิษ หากลูกค้าจำเป็นต้องใช้ก๊าซไวไฟ ระเบิดได้ และเป็นพิษด้วยเหตุผลทางเทคโนโลยี โปรดใช้มาตรการป้องกันและป้องกันการระเบิดที่เกี่ยวข้องด้วยตนเอง บริษัทจะไม่รับผิดชอบต่อปัญหาใดๆ ที่เกิดจากการใช้ก๊าซไวไฟ ระเบิด และก๊าซพิษ