คุณสมบัติ

· จิ๊กขัดที่แม่นยำสำหรับการขัดแผ่นเวเฟอร์/พื้นผิวที่แม่นยำ และการทำให้บางลง

· ฟิกซ์เจอร์สกรูควบคุมความหนาที่มีความละเอียด 0.005 มม. เพื่อจำกัดการถอดสต็อก

· ฟิกซ์เจอร์ขัดเงานี้สามารถใช้ได้กับ Unipol 1202 และ 1502 และเครื่องขัดขนาด 12 นิ้วหรือใหญ่กว่าที่มีความแม่นยำใดๆ ก็ได้ที่มีแอกรองรับเพื่อให้สามารถขัดหรือขัดอัตโนมัติได้

· โลหะผสมทังสเตนที่มีความแข็งเป็นพิเศษถูกเชื่อมที่ด้านล่างของจิ๊กเพื่อการขัดต้านทาน

· ความหนาตัวอย่างสูงสุด: 13 มม.

· ระยะเคลื่อนที่สูงสุด: 14 มม.

หัวจับตัวอย่าง หัวจับสุญญากาศ

· ขนาดสูงสุดของเวเฟอร์หรือวัสดุพิมพ์คือ 4"

· หากความหนาของตัวอย่างมากกว่า 0.15 มม. ให้ใช้การดูดซับสุญญากาศ หากความหนาน้อยกว่า 0.15 มม. โปรดใช้แวกซ์

ไมโครมิเตอร์แบบดิจิตอล

· ไมโครมิเตอร์แบบดิจิตอล 1 ตัวมาพร้อมกับความละเอียด +/- 1 ไมครอนเพื่อการขัดที่แม่นยำยิ่งขึ้น

ตัวแสดงความดัน

· มีเครื่องชั่งดิจิทัลหนึ่งตัวสำหรับการวัดน้ำหนักฟิกซ์เจอร์ ( ความดัน )

· น้ำหนักสามารถปรับได้ด้วยสกรูขณะวัดบนเครื่องชั่งดิจิทัลตั้งแต่ 1 ก. ถึง 2000 ก.

การดูดซับและตัวกรองสุญญากาศ

· ต้องใช้ปั๊มสุญญากาศที่มีอัตรา 70 ลิตร/นาที

· เพื่อปกป้องปั๊มสุญญากาศจากความชื้นและของเหลวใดๆ ให้เชื่อมต่อตัวกรองระหว่างฟิกซ์เจอร์และปั๊ม

ขนาด

OD: 146 มม.; ความสูง: 266 มม.

อุปกรณ์เสริมเพิ่มเติม

ปั๊มสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับการดูดซับสุญญากาศ โปรดสั่งซื้อแยกต่างหาก